Maskenmessmaschine MM

Das Gerät verfügt über zwei Planspiegel-Interferometer, mit welchen die aktuelle Position mittels Laser-Messsystem präzise gemessen wird. Der Laserstrahl ist dabei auf der Höhe des Prüflings in der verlängerten Messlinie angeordnet. Es wird so die relative Bewegung zwischen Mikroskop und dem Prüfling mit Nanometer-Auflösung erfasst.


Der Planspiegel mit seiner kinematischen Auflage bildet dabei das eigentliche Kernstück des Geräts. Ein Kompensationsfile, welches die Geometrie des Planspiegels wiedergibt, wird in der Software hinterlegt. Mit dieser Methode werden allerhöchste Genauigkeiten realisiert.

Unsere Kunden haben sehr unterschiedliche Ansprüche. Daher werden unsere Maskenmessmaschinen an die Anforderungen unserer Kunden angepasst. Kunz precision AG steht Ihnen mit viel Erfahrung und Know-how bei der Planung, bei der Ausführung sowie mit einem top After-Sales-Service zur Seite.

Dimensionen, Angaben:

  • Verfahrweg X/Y: 400 mm/300 mm
  • Wegmesssystem: Laserinterferometer
  • CCD Kamera
  • Material Planspiegel: Zerodur

Technische Daten

Type Abmessungen (LxBxH) Verfahrweg X/Y Messlänge X/Y Gewicht Benötigte Druckluft Luftverbrauch Elektrischer Anschluss Verbindung zu PC Messsystem Software Umgebungstemperatur Positionsgenauigkeit nach ISO Auflösung Geradheit (Achse X) Geradheit (Achse Y) Rechtwinkligkeit X zu Y Ebenheit Führungsfläche Rollen, Gieren, Nicken

Die Genauigkeitsangaben gelten bei 20 °C und temperaturstabilen Verhältnissen (ΔT ≤ 0.2K / 24h).

Für kundenspezifische Lösungen in verschiedensten Dimensionen sind wir Ihr Spezialist. Fragen Sie uns an: Kontakt.