L'appareil dispose de deux inféromètres à miroir plan qui permet de mesurer précisément la position actuelle à l'aide du système de mesure au laser. Le rayon laser est positionné sur la hauteur du spécimen à contrôler et en même temps sur la ligne de mesure prolongée. Il saisit ainsi le mouvement relatif entre le microscope et le spécimen à contrôler avec une résolution nanométrique.
Le miroir plan avec son embase cinématique forme l'élément central de l'appareil. Un fichier de compensation reflétant la géométrie du miroir plan est déposé dans le logiciel. Cette méthode permet d'atteindre les plus hautes précisions.

Nos clients ont les exigences les plus diverses. C'est pourquoi nos machines de mesure de masques sont adaptées aux conditions requises par nos clients. Kunz precision AG est à leur côté avec son expérience et son savoir-faire vastes durant la conception et la réalisation ainsi qu'avec un service après-vente impeccable.

Dimensions, données techniques :

• Déplacement X/Y : 400 mm/300 mm
• Système de mesure de déplacement : interféromètre laser
• Caméra CCD
• Matériau miroir plan : Zerodur